另外极紫外光波长为，由于容易被镜头玻璃等材料吸收，还会被空气和气体吸引影响折射率变化。
腔体需要采用真空系统。
投影光学系统则必须使用反射镜代替透镜，这使得反射镜的精度要求很高，同时制造成本昂贵。
掩膜方面因为极紫外光线的特殊性，普通掩膜版非常容易破坏，这就需要研发出特殊的掩膜版。
可以说这几项问题每个单独拿出来，都需要研究所进行大量长时间的研究。
并且还不见得一定会有成果。
足可见制造整台极紫外高端光刻机的难度。
也怪不得海外半导体领域有恃无恐，并不担心他们能够实现高端芯片制造产业链国产化。
幸好高端光刻胶的问题已经解决，否则便相当于是又增加了难度。
徐昀弄清楚这些的同时自然也有了方向，这时面对罗长辉的询问并未隐瞒什么，当即便大方讲出了自己接下来的规划。
“我打算先解决光源问题。”
在场的研究员很清楚这些问题都要解决，先主攻哪个并无多大区别。
自然不会对徐昀的决定提出质疑。
相反听到这个答案后纷纷点头表示附和。
“光源确实是非常重要的问题，我们现在所能制造出的极紫外光源，功率方面根本达不到要求。”
“我没有意见。”
“我也支持徐教授的决定。”
徐昀对大家的表现非常满意，但若认为他只能做到这种程度可就大错特错了。
没等大家回过神来，他便又丢出一颗重磅炸弹。
“之后一段时间我会拿出光源的设计方案，另外后续我也会完成光学系统和掩膜的方案，到时候就要拜托大家合力将光刻机完成。”
如果说刚才大家对徐昀短时间看完全部资料只是意外和吃惊。
那么此刻听完这句话后，表情霎时间便僵硬在了脸上完全处于懵圈状态。
瞳孔骤缩仿佛发生了地震。
不敢相信自己究竟听到了什么。
短时间拿出光源设计方案也就罢了，竟还表示掩膜和光学系统同样不会少，关键听这话的意思似乎还是徐昀要dú • lì完成方案。
哪怕徐昀拥有极高的天赋，并且创造出了多项奇迹推动行业变革。
他们也想象不到这种可能。
作为光刻机项目的老成员，没有人比他们更清楚其中的困难程度。
只能说徐昀的话不像去研发光刻机的人，反倒是已经掌握了全部的技术。
直接把相关设计方案从脑子里拿给他们去完成。
但这显然是不可能的。
奈何徐昀的语气又充斥着自信，整个人一副胸有成竹的模样。
让他们实在不好判断具体状况。
伴随长时间的沉默在房间里蔓延开来，使得氛围显得诡异起来。
至于后面刘星等数位还是博士后的研究员助理，此刻更是大气不敢出。
不知过去多长时间，仍是罗长辉最先平复下来，脸色无比凝重的向徐昀追问道：“这几项都属于极紫外光刻机中的核心问题，徐教授真有把握能完成方案？”说话时眼神中隐藏着些许期待。
“应该没什么问题。”徐昀点点头认真回答。
这几项难题对研究所来说确实很难解决，可他有着大脑超频能推出最优方案。
说不定比海外的光刻机各方面性能更加稳定。
因此这点自信还是有的。
罗长辉得到徐昀的再三确定，终于不再掩饰脸上的欣喜之色。
下意识紧握住徐昀的手掌连忙表态道：“我相信你。”
其他人看到这一幕虽仍心怀疑虑，但仔细想想现在除了相信徐昀也没更好的办法。
究竟能不能拿出可行的方案，那也只有实验过后才能知晓。
但毫无疑问如果徐昀说到做到，那么国产极紫外光刻机势必会迎来飞速进展，先前在半导体材料领域中的颓势也将一扫而空。
不过该说不说，今天徐昀确实给了他们太多惊喜。
接下来的时间，徐昀做出相应安排后，便宣布这场简短但却令人震撼的会议结束。
随之而来的则是对光源可行性方案的研究。
……
与此同时深市这边，张涛和公司汇报完锦城之行的谈判结果，便第一时间动身前往京州市人工智能实验室完成相关对接。
再重新回到深市公司总部后，也标志着利用人工智能模型笨笨辅助开发国产EDA工业软件方法，正式开始实际的验证实验。
若最终表现出的效果达不到预期，那么便表示此方式根本行不通。
届时作为提出者的张涛，也肯定会面临公司方面的部分责任。
毕竟是他力排众议让此项目通过。
上午九点准时来到软件开发办公区域，相比坐在电脑前的技术工程师，他的内心不由得忐忑起来。
……
(本章完)