“光刻机是非常精密复杂的半导体设备,我们阿斯麦也是经过了长时间的研究才走到今天这个位置,你们起步时间晚能有进展已经相当不错了。”
路上托尼诺依旧彰显着自家公司的实力,说完还不忘假模假式称赞了句。
嘴角浮现的笑容始终没有消失过。
他心里已经认定,徐昀研发出的光刻机最多是28纳米工艺,根本对阿斯麦起不到什么威胁。
自然没有什么负担。
想到很快就能完成自己的任务返回公司,他脚上步伐不由得加快了点。
旁边徐昀罗长辉等人闻声相互看了眼,心照不宣的保持起沉默。
虽说脸上没有什么表情,心里只怕都快要笑出声。
只能说这位堂堂阿斯麦公司的技术执行官,越发让人感到同情了。
约摸过去快十分钟的时间,黑压压一群十多个人终于到达首台国产极紫外光刻机所在的楼层。
由于这台光刻机持续在制造芯片,中控系统房间内有人值班。
看到徐昀罗长辉等人进来。
连忙起身打招呼。
“所长。”
“徐教授。”
罗长辉冲其摆摆手笑着说:“快坐下吧,今天光刻机的运行状态如何?”
“运行全部正常。”值班人员应声回答。
徐昀没去在意罗长辉的对话,这时他把目光投向身旁的托尼诺主动介绍道:“托尼诺教授请看,这就是我们dú • lì生产出来的首台极紫外光刻机。”说话时嘴角浮现的笑容越发玩味。
话音刚落。
还没等对方回答。
又再次补充道:“还希望托尼诺教授能给出建议。”
不用徐昀多说,托尼诺的注意力早就集中在面前这台大型设备。
脸上表情先是闪过一丝异色。
很快又恢复正常。
显然是没想到光电技术研究所,在短短一年多的时间里就成功组装出了能够使用的光刻机。
但这还不足以引起他的重视。
他坚信自己的判断。
徐昀团队最多攻克28纳米工艺光刻机。
尽管单从外表来看,很难判断眼前光刻机的工艺。
“当然没问题。”
很是轻松的满口答应下来,接着直接开口讲:“对于光刻机来说,必须要保证不会频繁出现故障,否则就会严重影响到订单的进度,在这点上我可以指导你们如何尽量规避故障的出现。”说到这里托尼诺脸上的神情很快变得越发自信。
可惜就在他准备接着往下讲时,却被身旁的徐昀主动开口打断。
“麻烦等一下托尼诺教授。”
“徐教授。”
“这浪费的可是你们的时间。”托尼诺看到自己的发言被迫中断,语气上显得有些不耐烦。
在他看来。
自己作为全球顶尖半导体设备公司,拥有很大权力的首席技术执行官,给徐昀的光刻机团队指点关于光刻机的技术知识,这可是打着灯笼都难找的事情。
不知道有多少半导体相关公司,想邀请他过去交流合作。
结果现在却被人硬生生打断。
难免会觉得很没面子。
按照他的想法,徐昀等人这时候就应该认真去听。
而不是提出意见。
“托尼诺教授不必生气,可能徐教授是有其他打算。”
旁边罗长辉听到这句话,则率先打了个圆场,避免爆发不必要的冲突。
徐昀当然不是故意打断托尼诺,主要在他看来托尼诺连眼前的设备都还没了解,在不知道具体数值的情况下又如何进行指导。
如果只是敷衍了事的话,那么所谓的指导也就没有听下去的必要了。
想到这里他直接询问。
“托尼诺教授是不是应该先了解下我们这台自主研发的光刻机情况?”
“完全没这个必要。”托尼诺听到徐昀担心这个,随口解释道:“我们公司对于28纳米工艺的光刻机研究已经非常成熟,哪怕是微不足道的技术,也照样能够为伱们提供很大帮助。”
说完他没有和徐昀继续辩驳,当即便打算接着刚才的话继续讲。
奈何徐昀可不打算把此事揭过。
下秒嘴角噙着笑容,语言清晰的为其解释。
“托尼诺教授,你好像搞错了一件事。”
“抱歉。”
“我们这台是7纳米芯片制造工资的极紫外光刻机。”
随着这句话传进托尼诺耳中,他整个人瞬间如糟雷震眼神充斥着诧异。
稍微顿了几秒,才不死心的说:“这个玩笑可一点都不好笑。”
“徐。”
“这是你们独有的幽默吗?”
到了这个时候徐昀也懒得和对方装下去,选择直接摊牌。
无视掉对方的嘴硬,徐昀看向值班人员说:“把我们这台光刻机的配置让托尼诺教授看看。”
“最好能给我指点下技术。”
“毕竟在这个领域,他们阿斯麦已经非常成熟。”
“是徐教授。”值班人员堆满笑容回答。
说完立刻动手调出光刻机的配置性能,让托尼诺认清这现实打击。
旁边罗长辉则苦口婆心的说:“托尼诺教授,在这件事上我们并没有骗你。”
而此刻两波人流露出的神情也成了鲜明对比。
跟着托尼诺过来的公司人员,他们有些虽然不接触技术层面的东西,却也明白7纳米工艺的极紫外光刻机代表着什么。
实在是难以相信。
反观杨靖研究所里的人,这时候则可谓扬眉吐气。
以前在半导体领域没有任何话语权,不知道被迫接受了多少针对性的规定。
如今苦尽甘来,终于拥有了自己的高端光刻机,看到阿斯麦技术执行官那吃惊的表情,心里可以说要多爽就有多爽。
若不是大家都有着比较高的修养,估计这会早就已经笑出声来。
作为全场视线焦点的托尼诺,为了证明自己的判断没错自然是第一时间看配置。
迫切想要找出不是7纳米工艺的证据。
可惜。
他失败了。
足足仔细查看了数分钟后,他整个活像泄了气的气球眼神失去神采。
和刚才那副自信的样子简直判若两人。
口中更是喃喃自语。
“不可能。”
“你们怎么可能这么快就研究到7纳米工艺光刻机。”
“这绝对做不到。”
确定眼前这台光刻机使用的是极紫外光源,且各项技术都达到7纳米工艺水准后,他只觉得自己现在有点怀疑人生。
他所学的知识以及在阿斯麦几十年的经验,这些都告诉他徐昀不可能研发出高端光刻机。
偏偏徐昀真的做到了。
这无疑让他的世界观轰然崩塌,短时间内依旧无法接受这个事实。
伴随房间内安静下来,似乎都能听到托尼诺那逐渐粗重的呼吸声。
“你不要紧吧教授?”身旁随行的金发女助理连忙搀扶住托尼诺很是关心的询问着。
生怕此次锦城之行出现什么事。
幸亏托尼诺看上去并没有心脏方面的疾病,否则突然遭受如此大精神刺激,真不见得能否顺利把这件事给扛过去。
“我没事。”
托尼诺深吸一口气,松开女助理的搀扶。
下秒抬起视线再次看向徐昀,非常期待的问:“这台极紫外光刻机你们应该研究很多年了吧?”
是的。
托尼诺在受完刺激后,给自己找了个勉强能够接受的理由。
那就是这台光刻机是研究了很多年的成果。
只是以前并未公开。
如此虽依旧让人感到恐惧,可起码双方还算在相同水平面上。
说完这句话后,他便牢牢注视着徐昀。
内心忐忑。
既想立刻听到答案,又害怕失望。
直到他看见徐昀脸上浮现出一个意味深长的笑容。
面对这个问题,徐昀并没有选择回答,反倒是侧过目光看向了站在后面的刘星。
“刘星。”
“还是你来回答托尼诺教授吧。”
“是徐教授。”刘星点头心中暗喜,往前迈了两步沉声和托尼诺讲:“是这样的托尼诺教授,这台极紫外光刻机是徐教授接手项目后所研发的。”
“到今天已经有一年多时间了。”
最后一句他特意加重了语气,以此来丰富情绪。
“才一年多?”
托尼诺被这个答案彻底震住,这一刻脑海中除了问号似乎再没其他内容。
口中重复着这句话渐渐失神。
回想起自己在阿斯麦研究光刻机投入的心血,以及公司消耗的时间和资金,眼下和徐昀一比竟突然显得是如此不堪愚蠢。
别人一年多就能解决的项目,他们却要消耗数倍的时间。
以往拥有的骄傲瞬间被击的粉碎。
关键徐昀接手此项目这么短时间,便让光刻机的工艺实现大跨步,直接可以制造7纳米规格的芯片。
如此速度实现5纳米甚至3纳米,就显得不值一提。
可以想象等这台光刻机正式交付后,等消息传播开来会给半导体领域带来怎样的影响。
“类似电池行业那样的大变革吗?”
思维运转到这里,托尼诺暗自想着心里有些五味杂陈后悔跑这一趟。
而正当他彻底失去兴趣,想要尽快回公司向首席执行官彼得温汇报时,耳旁却又响起罗长辉的声音。
“今天芯片的测试数据出来了没有,瑕疵率多少?”
坐在主控系统前的值班人员虽然不知道罗长辉为什么突然当着众人的面询问这个,但出于自身的职责所在还是立刻汇报了结果。
“报告所长,瑕疵率和前几天基本相等,依旧在百分之二以下。”
此话一出。
其他人神情淡然。
托尼诺差点惊掉了下巴。
“什么?”
“百分之二?”
顾不上自己的形象,立刻惊呼两声。
没有人比他更清楚这个数字代表的意义,哪怕是作为全球顶尖半导体设备公司的阿斯麦,也无法保证芯片的瑕疵率低于百分之二。
众所周知每批制造出来的芯片,都肯定会有不符合标准的瑕疵芯片。
这些都需要剔除出来,算作晶圆厂的成本。
要想降低芯片的瑕疵率,自然是要从光刻机性能和重要的光刻胶上入手。
基本越是成熟的工艺,瑕疵率越低。
比如制造14纳米规格的芯片,肯定要比7纳米的瑕疵率低的多。
阿斯麦在光刻机领域深耕多年,眼下正朝着3纳米芯片工艺展开研究。
却也只能将芯片的瑕疵率维持在百分之五。
徐昀依靠自身的天赋和实力,带领项目团队在短短不到两年的时间内研发出7纳米工艺光刻机,这确实非常惊人惊讶难以相信。
可这毕竟是一台刚组装的光刻机。
想尽可能降低芯片的瑕疵率,势必需要对光刻机进行长时间的调试。
在这个环节中,光刻胶能起到的效果也是有限的。
正常情况下这台光刻机想保持百分之五的瑕疵率都是难如登天。
更不用说连百分之二都不到。
或许对于这台光刻机的工艺他刚才判断错误,但他绝不相信会有这么低的瑕疵率。
念头停留在这里,他眼神中都有了些光芒,直接把矛头对准徐昀。
当场表达自己的看法。
“徐教授。”
“我承认你们的确创造了奇迹,在技术被封锁的情况下短时间内攻克高端光刻机。”
“但没必要故意弄出一个假瑕疵率吧?”
“你不觉得百分之二过于离谱吗?”
徐昀将托尼诺的话悉数听进耳中,对此他心里只能说是哭笑不得。
他当然知道罗长辉这时候提瑕疵率肯定是故意的。
目的无非是好好秀下。
毕竟这关系到后续国产极紫外光刻机打开市场,没必要藏着掖着。
不过托尼诺的表现就有点不吃教训了。
明明刚刚才被打脸,突然又变得如此信誓旦旦。
真不知道他哪来的这份自信。
“托尼诺教授,既然你想追求刺激,那我就只能帮忙贯彻到底了。”
暗自低喃这么一句,然后对值班人员说:“把芯片测试结果的文件拿出来让托尼诺教授看看吧。”
他很清楚在这种情况下,任何的解释都会显得苍白无力。
更无法说服陷入自己世界的托尼诺。
所以还是直接拿事实说话。
这也是他没有回答托尼诺的问题,直接让值班人员拿文件的原因。