磁悬浮式双工作台系统如今还是全球唯一的双工作台系统,这也是孙健的功劳。
讲求效益的美国人也信奉造不如买,从不担心被人卡脖子!
像GCA和ASML等五成的光刻机公司选择BSEC生产的磁悬浮式双工作台系统,像Nikon和等五成的光刻机公司购买BSEC的公司发明专利,自己组织生产。
避免浪费宝贵的人力和资金,在孙健的指示下,GCA光刻机半导体研究院从1996年6月开始,停止研发和生产磁悬浮式双工作台系统,原有的32名研发人员被BSEC光刻机自动化研究所全部接收,古斯特里求之不得,直接购买BSEC生产相配套的磁悬浮式双工作台系统,从没想过BSEC会掐GCA的脖子。
32名研发人员的加入,BSEC光刻机自动化研究所如虎添翼,夏季常院士领衔研制的满足180nm光刻机所需要的磁悬浮式双工作台系统已经量产。
1996年12月,欧阳明院士带领硅片制造研究所研发成功具有自主知识产权的8英寸晶圆,也是一项伟大的创举。
陈伟长院士带领光刻机光学研究所,最后研发成功满足500nm光刻机所需要的光学系统。
BSEC最后系统合成,光刻机公司生产了二台500nm制程工艺光刻机研试验样机。
8英寸晶圆、500nm制程工艺光刻机的研发和生产是一项复杂的系统性工程,光源系统、光学系统和双工作台系统缺一不可。
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12月13日,韩元对美元的汇率突然降至:1,韩元危机也冲击了在韩国有大量投资的日本金融业。