关上门，苏远山再次兴奋地击掌。
“爸，知道什么叫想睡觉就有人送枕头吗？这就叫！”
苏远山说着哈哈大笑，一下跃进沙发。
国内光刻机，或者说光学精密机械，其实起步并不晚。早在50年代就成立了中科院长春光机所，然后六七十年代，长光所分别在西京，sh，省城援建了西光所，上光所，成光所。
既然四处开花，那各自侧重的方向自然就不同。长光所作为爷爷辈主导全局，西光所主要研究空间光学、光电工程等领域；上光所主要偏重强激光、信息光学、光子材料等领域；而成光所，也就是省城光机所，则早在70年代就提出了未来的主攻方向是光测设备、大规模集成电路装备攻关项目。（此处略过安光所）
但苏远山知道，成光所的这些研究方向是失败了的。
现在已经是92年初，成光所会在明年推出被誉为电子十大科技成果之一的首台g线光刻机——-2微米分步重复投影光刻机。然而因为良率实在太低以至于根本只能当个样机……
后来成光所再接再厉，又研发出-1微米的分布投影光刻机，并号称是唯一一台做出过元器件的自主研发的光刻机。
听听这措辞，“做出过”元器件——悲凉中透着倔强。
从此国产光刻机再回首时已是百年身。
作为相关行业的从业者，苏远山当然了解过国产光刻机的历史。事实上成光所搞的这台就是仿造nec的2微米光刻机而来，但硬件可以山寨，嵌入式系统就没办法了。特别是各种微调，那是需要系统和经验的双加持。
苏远山今年的计划就是借着同在省城的优势拉着成光所的这波人吃一波经验。他还没想好怎么找借口合作，对面就找上门来，这不是想睡觉有人送枕头是什么？