并且就连远芯,制程推进也是在尼康i线365n光刻机的基础上进行,虽然理论最小工艺节点依旧是025微米。但波长和线宽的优势,使得其更容易达到节点。
此外,早在去年,tel就推出了基于035微米制程工艺的pentiux,轻而易举地就回到了性能王座的同时,也彰显了其晶圆厂强大的制程工艺实力。
根据小道消息,tel的025微米工艺也在突破当中。
相比之下,德远这边,还在为035微米工艺打着攻坚战。
与此同时,尼康那边已经采用248n的krf准分子激光作为下一代光刻机的光源,紧接着便是193n的arf——也就是大名鼎鼎的duv。届时,凭借多重曝光技术,duv将会把制程节点提高到65纳米的干式光刻极限。
再往后……便是浸没式技术的天下了。
如果说,还有什么能够让苏远山有信心和勇气去直面光刻机的未来,恐怕就是“多灾多难的”双工件台以及目前八字都没一撇的浸没式光刻技术了。
沉默几秒后苏远山沉声道:“对于国家来说,光刻机就是好不容易养出来的金宝贝,不可能就此不管的,我们只需要做好我们应该做的即可。”
说着他用力挥了一下手,仿佛想要挥去阴霾和迷雾。
陈静见状毫不掩饰自己的心疼,轻声道:“要不自由讨论一下?”
“没事,下一条。”苏远山抿了抿嘴,紧接着望向田耀明,末了又看了一眼末尾的李逸男一眼。